Simulação pelo método de Monte Carlo cinético dos estágios iniciais do crescimento de filmes finos

• Ano de defesa: 2017
• Autor(a) principal: Moura, Yasmin Watanabe de
• Orientador(a): Simão, Renata Antoun
• Banca de defesa: Camargo, Sérgio Alvaro de Souza, Oliveira, André Luiz Saraiva de
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Universidade Federal do Rio de Janeiro
• Programa de Pós-Graduação: Programa de Pós-Graduação em Engenharia Metalúrgica e de Materiais
• Departamento: Instituto Alberto Luiz Coimbra de Pós-Graduação e Pesquisa de Engenharia
• País: Brasil
• Palavras-chave em Português: Engenharia metalúrgica e de materiais; Filmes finos; Monte Carlo cinético
• Área do conhecimento CNPq: CNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA
• Link de acesso: http://hdl.handle.net/11422/9280

Este trabalho consiste em um estudo dos estágios iniciais dos crescimento de filmes finos sobre diferentes substratos. Para tal, foram realizadas simulações computacionais utilizando o modelo de Monte Carlo cinético, considerando os eventos de deposição de um átomo, difusão atômica e reevaporação. Buscando analisar o efeito dos parâmetros de deposição na morfologia do filme, a temperatura do substrato e a taxa de deposição foram variadas. Para observar a ifluência do material do substrato e do metal depositado, foram calculados os valores de energias de interação entre os materiais.Foram calculados os valores de rugosidade para os filmes simulados, em adição a uma análise qualitativa do formato e da distribuição das ilhas em diferentes coberturas. Os resultados mostraram que, na maioria dos casos, o aumento da temperatura gera ilhas maiores e com formatos mais regulares. Ainda foi possível observar que as energias associadas aos filmes e ao substrato possuem forte influência na morfologia e no modo de crescimento do filme. Foi concluído que é possível manipular a morfologia do filme por meio da variação dos parâmetros estudados, tornando viável o controle das propriedades do filme por meio do processo de deposição.