Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1990
Autor(a) principal: Xavier, Wagner Jose Lopes
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: [s.n.]
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Semicondutores
Fótons - Instrumentos
Engenharia elétrica
Link de acesso: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940
Resumo: Orientador : Vitor Baranauskas
id UNICAMP-30_331f03ee3a9b8bbd1823674176a0ab73
oai_identifier_str oai::26683
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasmaSemicondutoresFótons - InstrumentosEngenharia elétricaOrientador : Vitor BaranauskasDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: Não informadoAbstract: Niobium and niobium oxides have been used for superconductive structures such as Josephson junctions, SQUIDS and superconductive interconnects in semiconductor devices. In tllls work we had investigated the thermal oxidation of Nb thin-films (deposited by DC - sputtering ou to silicon substrates), at different temperatures (673-1023 K) and times (10-45 min). X-Ray diiffractomerty and ESCA measurements revealed the presence of lhe Nb02 and Nb2O5 layers. The rate of lhe etching of these oxydes in plasmas of CF4- 02 and CF4 - H2gas mixtures have been investigated. The etch curves ot the oxydes thermally grown at different temperatures showed similar behaviour as these of pure Nb films, but with etch rates a factor 012 - 3 higher. Fluorine radicals seem to be the main reactants in the etch chemistry. The etching is anisotropic and the end-point detection can be accurately made by "in situ" laser interferometryMestradoMestre em Engenharia Elétrica[s.n.]Baranauskas, Vitor, 1952-2014Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia ElétricaPrograma de Pós-Graduação em Engenharia ElétricaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASXavier, Wagner Jose Lopes19901990-07-02T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf86f. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940XAVIER, Wagner Jose Lopes. Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma. 1990. 86f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/26683Publicação FEEporreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-17T20:53:31Zoai::26683Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-17T20:53:31Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
title Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
spellingShingle Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
Xavier, Wagner Jose Lopes
Semicondutores
Fótons - Instrumentos
Engenharia elétrica
title_short Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
title_full Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
title_fullStr Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
title_full_unstemmed Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
title_sort Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma
author Xavier, Wagner Jose Lopes
author_facet Xavier, Wagner Jose Lopes
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Baranauskas, Vitor, 1952-2014
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica
Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Xavier, Wagner Jose Lopes
dc.subject.por.fl_str_mv Semicondutores
Fótons - Instrumentos
Engenharia elétrica
topic Semicondutores
Fótons - Instrumentos
Engenharia elétrica
description Orientador : Vitor Baranauskas
publishDate 1990
dc.date.none.fl_str_mv 1990
1990-07-02T00:00:00Z
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv (Broch.)
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940
XAVIER, Wagner Jose Lopes. Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma. 1990. 86f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940. Acesso em: 2 set. 2024.
identifier_str_mv (Broch.)
XAVIER, Wagner Jose Lopes. Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma. 1990. 86f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1574940
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/26683
Publicação FEE
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
86f. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809189630804754432

Registros relacionados