Propriedades mecânicas em filmes de Nb/Pd

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1985
Autor(a) principal: Scarminio, Jair
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: [s.n.]
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Filmes finos - Propriedades mecânicas
Link de acesso: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579045
Resumo: Orientador: Sergio Moehlecke
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spelling Propriedades mecânicas em filmes de Nb/PdFilmes finos - Propriedades mecânicasOrientador: Sergio MoehleckeTese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb WataghinResumo: Fizemos um estudo da tensão mecânica (interna e térmica), falhas mecânicas e adesão, em filmes poli cristalinos de Nb/Pd depositados pelas técnicas de "sputtering" e evaporação. Observou-se que a tensão residual depende das condições de deposição, em especial da pressão do gás do plasma de argônio nos filmes obtidos por "sputtering" .Verificou-se também que padrões caracterizam as falhas por trincas e descolamentos, as quais ocorrem dependentemente dos parâmetros tensão residual, espessura do filme e adesão. Obteve-se ainda para estes filmes, as tensões de compressão críticas para a ocorrência de falhas por descolamentos. Com os resultados obtidos discutiu-se os modelos teóricos para a origem da tensão e falhas mecânicas em filmes finos. Um resumo atualizado das propriedades mecânicas destes materiais é também apresentadoAbstract: Stress (internal and thermal), mechanical failures and adhesion were studied for Nb/Pd polycrystalline films, deposited by sputtering and evaporation techniques. A dependence between residual stress and depositions conditions, mainly with the plasma pressure in sputtered films was observed. Specific patterns characterize the failures by cracking and buckling, with occur depending on residual stress film thickness and adhesion parameters. The critical compressive stress to failures by bucking in these films was obtained experimentally. Based on these results theoretical models of the origin of stress and of mechanical failures in thin films were discussed. An up-to-date abstract about the mechanical properties in these materials is also presentedDoutoradoFísicaDoutor em Ciências[s.n.]Moehlecke, Sergio, 1948-Universidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb WataghinPrograma de Pós-Graduação em FísicaUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASScarminio, Jair19891985-07-18T00:00:00Zinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdf207 f. : il.https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579045SCARMINIO, Jair. Propriedades mecânicas em filmes de Nb/Pd. 1989. 207 f. Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1579045. Acesso em: 25 abr. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/52076porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2019-04-24T09:22:56Zoai::52076Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2019-04-24T09:22:56Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
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