Estudo das propriedades elétricas e óticas de filmes de ZnNb:TiO2 sobre vidro depositados por HiPIMS

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2022
Autor(a) principal: Laur, Alexandre Barbosa Lucas
Orientador(a): Massi , Marcos
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
eng
Instituição de defesa: Universidade Presbiteriana Mackenzie
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
ZnNb:TiO2
HiPIMS high power impulse magnetron sputtering
transmitância
resistividade
filmes finos
Link de acesso: https://dspace.mackenzie.br/handle/10899/28925
Resumo: Com suas propriedades fotocatalíticas e diversas aplicações já existentes, filmes finos de TiO2 tem se mostrado alvo de interesse na comunidade científica. O TiO2 vem sendo estudado com o propósito de alterar e obter propriedades e morfologias desejáveis, para essa alteração a dopagem do TiO2 com zinco e nióbio mostrou resultados interessantes para otimizar as propriedades óticas e elétricas. Existem diversas formas de obtenção desse material em nanoescala, de rotas químicas a físicas. Neste trabalho filmes finos de ZnNb:TiO2 foram obtidos através da técnica de HiPIMS reativo, com variação na largura de pulso. As propriedades morfológicas, elétricas e óticas dos filmes foram estudadas com o objetivo de correlacionar as propriedades obtidas com cada largura de pulso utilizada. Conforme a largura de pulso aumenta os filmes obtidos mostram espessuras e rugosidades crescentes, mantendo as transmitâncias no espectro visível, mas com diminuição da resistividade elétrica.
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spelling Laur, Alexandre Barbosa LucasMassi , Marcos2022-04-06T14:47:41Z2022-04-06T14:47:41Z2022-02-17Com suas propriedades fotocatalíticas e diversas aplicações já existentes, filmes finos de TiO2 tem se mostrado alvo de interesse na comunidade científica. O TiO2 vem sendo estudado com o propósito de alterar e obter propriedades e morfologias desejáveis, para essa alteração a dopagem do TiO2 com zinco e nióbio mostrou resultados interessantes para otimizar as propriedades óticas e elétricas. Existem diversas formas de obtenção desse material em nanoescala, de rotas químicas a físicas. Neste trabalho filmes finos de ZnNb:TiO2 foram obtidos através da técnica de HiPIMS reativo, com variação na largura de pulso. As propriedades morfológicas, elétricas e óticas dos filmes foram estudadas com o objetivo de correlacionar as propriedades obtidas com cada largura de pulso utilizada. Conforme a largura de pulso aumenta os filmes obtidos mostram espessuras e rugosidades crescentes, mantendo as transmitâncias no espectro visível, mas com diminuição da resistividade elétrica.CAPES - Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nívelhttps://dspace.mackenzie.br/handle/10899/28925porengUniversidade Presbiteriana MackenzieAttribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazilhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/info:eu-repo/semantics/openAccessZnNb:TiO2HiPIMS high power impulse magnetron sputteringtransmitânciaresistividadefilmes finosEstudo das propriedades elétricas e óticas de filmes de ZnNb:TiO2 sobre vidro depositados por HiPIMSinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisreponame:Repositório Digital do Mackenzieinstname:Universidade Presbiteriana Mackenzie (MACKENZIE)instacron:MACKENZIEhttp://lattes.cnpq.br/1992108703603111https://orcid.org/0000-0002-7117-8039http://lattes.cnpq.br/8852726724495892Vatavuk, Janhttp://lattes.cnpq.br/2607688973456560https://orcid.org/0000-0002-9603-3338Fontana, Luis Césarhttp://lattes.cnpq.br/9403290679198474Stryhalski, Joelhttp://lattes.cnpq.br/5078982111966061https://orcid.org/0000-0001-5810-2083TiO2 thin films have shown interest in the scientific community, due to their photocatalytic properties for several applications. TiO2 has been studied with the purpose of altering and improving properties and morphologies, for these changes the doping of TiO2 with zinc and niobium has shown interesting results to optimize existing optical and electrical applications. There are several ways to obtain this material in nanoscale, from chemical to physical routes. In this work, thin films of ZnNbTiO2 were obtained through the reactive HiPIMS techinique with variation in pulse width. Morphological, electrical and optical properties of the films were studied in order to correlate the properties obtained with each pulse width studied. As the pulse width increases the films obtained shown increasing thickness and roughness, keeping transmittance in the visible spectrum and decrease in electrical resistivity.ZnNb:TiO2HiPIMS high power impulse magnetron sputteringtransmittanceresistivitythin filmsBrasilEscola de Engenharia Mackenzie (EE)UPMEngenharia de Materiais e NanotecnologiaCNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICACNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICA::METALURGIA FISICA::CORROSAOORIGINALAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdfAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdfAlexandre Barbosa Lucas Laurapplication/pdf3167206https://dspace.mackenzie.br/bitstreams/8c2eba39-9cbd-412a-af59-21592d74404c/download80863ee30a7e9b858662824e33461413MD51CC-LICENSElicense_rdflicense_rdfapplication/rdf+xml; charset=utf-8811https://dspace.mackenzie.br/bitstreams/18319409-9efb-4d2c-b491-b03519d94844/downloade39d27027a6cc9cb039ad269a5db8e34MD52LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81997https://dspace.mackenzie.br/bitstreams/0fe15c05-bd1f-4152-b677-db07faff8184/downloadfb735e1a8fa1feda568f1b61905f8d57MD53TEXTAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdf.txtAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdf.txtExtracted texttext/plain67473https://dspace.mackenzie.br/bitstreams/8deacc70-d42b-4d1b-8423-a47590e65e1e/download498ad4ab89cd3d57536c62fe4219aea2MD54THUMBNAILAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdf.jpgAlexandre Barbosa Lucas Laur - PROTEGIDO (2).pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg1154https://dspace.mackenzie.br/bitstreams/22e035d6-f5a1-4dd7-ad4a-d2fc537d39de/download9b2c65a1f53618e1b82fc4e6e4204f12MD5510899/289252022-04-07 02:01:49.579http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Braziloai:dspace.mackenzie.br:10899/28925https://dspace.mackenzie.brBiblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://tede.mackenzie.br/jspui/PRIhttps://adelpha-api.mackenzie.br/server/oai/repositorio@mackenzie.br||paola.damato@mackenzie.bropendoar:102772022-04-07T02:01:49Repositório Digital do Mackenzie - Universidade Presbiteriana Mackenzie (MACKENZIE)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