Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2002
Autor(a) principal: Marcelo Silva Guimarães
Orientador(a): Amilton Sinatora
Banca de defesa: Marcelo Nelson Paez Carreno, Luiz Otávio Saraiva Ferreira
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Universidade de São Paulo
Programa de Pós-Graduação: Engenharia Mecânica
Departamento: Não Informado pela instituição
País: BR
Link de acesso: https://doi.org/10.11606/D.3.2002.tde-12072002-131428
Resumo: Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem.
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spelling info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesis Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS. Proposition of thin films thermomechanical characterization using MEMS devices. 2002-03-18Amilton SinatoraMarcelo Nelson Paez CarrenoLuiz Otávio Saraiva FerreiraMarcelo Silva GuimarãesUniversidade de São PauloEngenharia MecânicaUSPBR buckling filmes finos flambagem mechanical properties MEMS microelectromechanical systems microscopia nomarski microssistemas nomarski microscopy propriedades mecânicas propriedades térmicas thermophysical properties thin films Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado na caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos. Fabricou-se vigas de Oxinitreto de Silício em que se aplicou a microscopia Nomarski para observar a deformação e a ocorrência do fenômeno de flambagem. An important factor to develop microsystems is knowledge of materials properties and failure mechanisms. This research studies the thermal actuated microbeam mechanical behavior and propose a method in order to characterize thermomechanical properties of thin films. Silicon Oxynitride microbeams are fabricated and Nomarski microscopy was applied to observe strain and buckling phenomenon ocurrence. https://doi.org/10.11606/D.3.2002.tde-12072002-131428info:eu-repo/semantics/openAccessporreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USP2023-12-21T18:47:23Zoai:teses.usp.br:tde-12072002-131428Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212016-07-28T16:08:16Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
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