Dirani, E. A. T. (1991). Películas de silício microcristalino hidrogenado: Um estudo de desenvolvimento de sua obtenção por processo CVD assistido por plasma.
Referência de acordo com a norma ChicagoDirani, Ely Antonio Tadeu. Películas De Silício Microcristalino Hidrogenado: Um Estudo De Desenvolvimento De Sua Obtenção Por Processo CVD Assistido Por Plasma. 1991.
Referência de acordo com a norma MLADirani, Ely Antonio Tadeu. Películas De Silício Microcristalino Hidrogenado: Um Estudo De Desenvolvimento De Sua Obtenção Por Processo CVD Assistido Por Plasma. 1991.
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