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Estudo de viabilidade de produção de detectores gasosos microestruturados por ablação a laser

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2025
Autor(a) principal: Palermo, Eduardo dos Santos
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Detectores de radiação.
Gas electron multiplier
Microfabricação
Microfabrication
Multiplicador gasoso de elétrons
Radiation detectors.
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-29092025-180313/
Resumo: Este trabalho apresenta o estudo de viabilidade da produção de folhas GEM (Gas Electron Multiplier) por meio da técnica de ablação a laser, como alternativa à fabricação convencional baseada em litografia óptica e ataque químico. A proposta visa desenvolver uma tecnologia nacionalmente acessível, utilizando substratos comerciais flexíveis e um sistema de microfabricação a laser, com o objetivo de nacionalizar o processo e reduzir custos, mantendo desempenho comparável ao padrão internacional. Foram realizados testes com diferentes parâmetros de ablação, avaliando a geometria, circularidade e regularidade dos furos obtidos, bem como simulações por elementos finitos para estudar a distribuição de tensões mecânicas na folha durante o estiramento. A caracterização morfológica das microestruturas foi realizada por microscopia óptica e eletrônica, complementada por um sistema de escaneamento automatizado em super-resolução. Embora o desempenho elétrico das folhas tenha sido limitado por correntes de fuga em altas tensões, o que impediu sua validação funcional como detectores, os resultados obtidos demonstram que a técnica de ablação a laser é promissora para a fabricação de GEMs, com boa reprodutibilidade geométrica em larga escala. O trabalho também abre perspectivas para a futura transferência dessa tecnologia para empresas nacionais, com potencial de inserção no mercado internacional de detectores gasosos.
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