Guias de onda pedestal dopados com íons de Nd3+ e nanopartículas de ouro para aplicações na região do infravermelho próximo: processos de fabricação e caracterização óptica.
| Ano de defesa: | 2025 |
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| Tipo de documento: | Tese |
| Tipo de acesso: | Acesso aberto |
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| Instituição de defesa: |
Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
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| Programa de Pós-Graduação: |
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| Palavras-chave em Português: | |
| Link de acesso: | https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29012026-101329/ |
Resumo: | Nesta tese, foram investigados guias de onda do tipo pedestal retilíneos (larguras de 4- 40 m) e curvos ou S-bends, (larguras de 2- 10 m), com núcleo TeO2-ZnO (TZ) dopado com Nd3+, com e sem nanopartículas de ouro ( NPs de Au), utilizando tecnologia de Si em sala limpa. Também são mostrados resultados de eletrodos modificados com filmes finos de TeO2- ZnO e óxido de grafeno reduzido (OGr). As análises morfológicas revelaram espessuras de 500-540 nm para o núcleo, 600-650 nm para o pedestal de SiO2 e ~1,8 m para a camada de SiO2, além de rugosidade superficial inferior a 1 nm, confirmando a boa qualidade dos filmes. As medidas de perdas por propagação, realizadas pela técnica cut-back, mostraram que guias retilíneos e curvos mais estreitos apresentam maiores perdas ópticas (2.2 dB/cm para largura de 40 m para os retilíneos e 0,7 dB/cm para 10 m para os curvos). Guias retilíneos com menor concentração de Nd³ apresentaram os maiores ganhos. A presença de nanopartículas (NPs) de Au depositadas por sputtering sobre os guias aumentou de forma expressiva o ganho relativo (GR) em 1064 nm: guias retilíneos aumentaram em até 75 % atingindo 12,0 dB/cm (para 8 m) e os curvos, com raio de 1000 m e largura de 2 m, atingiram ~ 4 dB/cm, ou seja aumento de 100 %; para o primeiro caso foram obtidos ganhos internos positivos para guias com larguras a partir de 8 m e, para o segundo caso para aqueles a partir de 4 m. Em contrapartida, para guias de raio 500 m, o GR não foi beneficiado pela presença de NPs de Au; também apresentaram maiores perdas em relação aos de maior raio de curvatura. Nos sistemas híbridos com Au e OGr o ganho foi significativamente reduzido pela incorporação de OGr, mesmo em baixas concentrações. No estudo eletroquímico, a modificação de eletrodos com filmes finos de TeO2-ZnO e OGr resultou em maior área eletroativa e melhora da transferência de carga, com incremento das correntes de pico em filmes mais finos (~25 nm). Esses resultados demonstram a versatilidade dos filmes em aplicações optoeletrônicas, combinando fotônica integrada e sensores eletroquímicos. A combinação de geometria otimizada, dopagem com Nd3+ e incorporação de NPs de Au constituem a estratégia mais eficiente para maximizar o ganho óptico em guias de onda com estrutura pedestal. Do ponto de vista aplicado, os resultados indicam a viabilidade de amplificadores ópticos em 1064 nm e de sensores eletroquímicos baseados em filmes TZ + OGr, compatíveis com plataformas fotônicas integradas e dispositivos compactos. Além disso, os guias S-bends demonstraram viabilidade para aplicações compactas em circuitos fotônicos integrados, conciliando miniaturização e desempenho. |
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Guias de onda pedestal dopados com íons de Nd3+ e nanopartículas de ouro para aplicações na região do infravermelho próximo: processos de fabricação e caracterização óptica.Pedestal waveguide doped with Nd3+ ions and gold nanoparticles for applications in the near-infrared region: manufacturing processes and optical characterization.Cyclic voltammetryFotônicaGold nanoparticlesGuias de onda (Fabricação)Integrated photonicsNanopartículasNeodímioNeodymiumS-bendVoltametriaWaveguidesNesta tese, foram investigados guias de onda do tipo pedestal retilíneos (larguras de 4- 40 m) e curvos ou S-bends, (larguras de 2- 10 m), com núcleo TeO2-ZnO (TZ) dopado com Nd3+, com e sem nanopartículas de ouro ( NPs de Au), utilizando tecnologia de Si em sala limpa. Também são mostrados resultados de eletrodos modificados com filmes finos de TeO2- ZnO e óxido de grafeno reduzido (OGr). As análises morfológicas revelaram espessuras de 500-540 nm para o núcleo, 600-650 nm para o pedestal de SiO2 e ~1,8 m para a camada de SiO2, além de rugosidade superficial inferior a 1 nm, confirmando a boa qualidade dos filmes. As medidas de perdas por propagação, realizadas pela técnica cut-back, mostraram que guias retilíneos e curvos mais estreitos apresentam maiores perdas ópticas (2.2 dB/cm para largura de 40 m para os retilíneos e 0,7 dB/cm para 10 m para os curvos). Guias retilíneos com menor concentração de Nd³ apresentaram os maiores ganhos. A presença de nanopartículas (NPs) de Au depositadas por sputtering sobre os guias aumentou de forma expressiva o ganho relativo (GR) em 1064 nm: guias retilíneos aumentaram em até 75 % atingindo 12,0 dB/cm (para 8 m) e os curvos, com raio de 1000 m e largura de 2 m, atingiram ~ 4 dB/cm, ou seja aumento de 100 %; para o primeiro caso foram obtidos ganhos internos positivos para guias com larguras a partir de 8 m e, para o segundo caso para aqueles a partir de 4 m. Em contrapartida, para guias de raio 500 m, o GR não foi beneficiado pela presença de NPs de Au; também apresentaram maiores perdas em relação aos de maior raio de curvatura. Nos sistemas híbridos com Au e OGr o ganho foi significativamente reduzido pela incorporação de OGr, mesmo em baixas concentrações. No estudo eletroquímico, a modificação de eletrodos com filmes finos de TeO2-ZnO e OGr resultou em maior área eletroativa e melhora da transferência de carga, com incremento das correntes de pico em filmes mais finos (~25 nm). Esses resultados demonstram a versatilidade dos filmes em aplicações optoeletrônicas, combinando fotônica integrada e sensores eletroquímicos. A combinação de geometria otimizada, dopagem com Nd3+ e incorporação de NPs de Au constituem a estratégia mais eficiente para maximizar o ganho óptico em guias de onda com estrutura pedestal. Do ponto de vista aplicado, os resultados indicam a viabilidade de amplificadores ópticos em 1064 nm e de sensores eletroquímicos baseados em filmes TZ + OGr, compatíveis com plataformas fotônicas integradas e dispositivos compactos. Além disso, os guias S-bends demonstraram viabilidade para aplicações compactas em circuitos fotônicos integrados, conciliando miniaturização e desempenho.In this thesis, pedestal optical waveguides were investigated in both straight configurations (widths of 4-40 m) and curved S-bends (widths of 2-10 m), with TeO2ZnO (TZ) core doped with Nd3+, with and without gold nanoparticles (Au NPs), using silicon technology in a cleanroom environment. Results are also presented for electrodes modified with thin films of TeO-ZnO and reduced graphene oxide (rGO). Morphological analyses revealed thicknesses of 500-540 nm for the core, 600-650 nm for the pedestal, and ~1.8 m for the SiO2 buffer layer, along with roughness below 1 nm, confirming the high quality of the films. Propagation loss measurements performed by the cut-back method showed that narrower straight and curved waveguides exhibited higher optical losses (2.2 dB/cm for 40 m straight guides and 0.7 dB/cm for 10 m curved guides). Straight waveguides with lower Nd3+ concentration exhibited the highest gains. The presence of Au NPs deposited by sputtering significantly enhanced the relative gain (GR) at 1064 nm: straight waveguides increased by up to 75%, reaching 12.0 dB/cm (for 8 m), while curved guides with a 1000 m radius and 2 m width reached ~4 dB/cm, corresponding to a 100% increase. In the former case, positive internal gains were achieved for widths 8 m, while in the latter for widths 4 m. However, for waveguides with a 500 m radius, GR was not improved by Au NPs and losses were higher compared to larger radius. In hybrid systems combining Au and rGO, the incorporation of rGO significantly reduced the gain, even at low concentrations. In the electrochemical study, electrodes modified with TeO2-ZnO thin films and rGO exhibited larger electroactive areas and improved charge transfer, with enhanced peak currents for thinner films (~25 nm). These results demonstrate the versatility of the films for optoelectronic applications, combining integrated photonics and electrochemical sensors. The combination of optimized geometry, Nd3+ doping, and Au NP incorporation proved to be the most efficient strategy to maximize optical gain in pedestal waveguides. From an application-oriented perspective, the results indicate the feasibility of optical amplifiers operating at 1064 nm and electrochemical sensors based on TZ + rGO thin films, compatible with integrated photonic platforms and compact devices. Furthermore, S-bend waveguides demonstrated their potential for compact applications in integrated photonic circuits, merging miniaturization with performance.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPKassab, Luciana Reyes PiresKumada, Daniel Kendji2025-11-25info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-29012026-101329/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2026-01-29T12:23:02Zoai:teses.usp.br:tde-29012026-101329Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212026-01-29T12:23:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false |
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Nesta tese, foram investigados guias de onda do tipo pedestal retilíneos (larguras de 4- 40 m) e curvos ou S-bends, (larguras de 2- 10 m), com núcleo TeO2-ZnO (TZ) dopado com Nd3+, com e sem nanopartículas de ouro ( NPs de Au), utilizando tecnologia de Si em sala limpa. Também são mostrados resultados de eletrodos modificados com filmes finos de TeO2- ZnO e óxido de grafeno reduzido (OGr). As análises morfológicas revelaram espessuras de 500-540 nm para o núcleo, 600-650 nm para o pedestal de SiO2 e ~1,8 m para a camada de SiO2, além de rugosidade superficial inferior a 1 nm, confirmando a boa qualidade dos filmes. As medidas de perdas por propagação, realizadas pela técnica cut-back, mostraram que guias retilíneos e curvos mais estreitos apresentam maiores perdas ópticas (2.2 dB/cm para largura de 40 m para os retilíneos e 0,7 dB/cm para 10 m para os curvos). Guias retilíneos com menor concentração de Nd³ apresentaram os maiores ganhos. A presença de nanopartículas (NPs) de Au depositadas por sputtering sobre os guias aumentou de forma expressiva o ganho relativo (GR) em 1064 nm: guias retilíneos aumentaram em até 75 % atingindo 12,0 dB/cm (para 8 m) e os curvos, com raio de 1000 m e largura de 2 m, atingiram ~ 4 dB/cm, ou seja aumento de 100 %; para o primeiro caso foram obtidos ganhos internos positivos para guias com larguras a partir de 8 m e, para o segundo caso para aqueles a partir de 4 m. Em contrapartida, para guias de raio 500 m, o GR não foi beneficiado pela presença de NPs de Au; também apresentaram maiores perdas em relação aos de maior raio de curvatura. Nos sistemas híbridos com Au e OGr o ganho foi significativamente reduzido pela incorporação de OGr, mesmo em baixas concentrações. No estudo eletroquímico, a modificação de eletrodos com filmes finos de TeO2-ZnO e OGr resultou em maior área eletroativa e melhora da transferência de carga, com incremento das correntes de pico em filmes mais finos (~25 nm). Esses resultados demonstram a versatilidade dos filmes em aplicações optoeletrônicas, combinando fotônica integrada e sensores eletroquímicos. A combinação de geometria otimizada, dopagem com Nd3+ e incorporação de NPs de Au constituem a estratégia mais eficiente para maximizar o ganho óptico em guias de onda com estrutura pedestal. Do ponto de vista aplicado, os resultados indicam a viabilidade de amplificadores ópticos em 1064 nm e de sensores eletroquímicos baseados em filmes TZ + OGr, compatíveis com plataformas fotônicas integradas e dispositivos compactos. Além disso, os guias S-bends demonstraram viabilidade para aplicações compactas em circuitos fotônicos integrados, conciliando miniaturização e desempenho. |
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