1
Assuntos:
“...Magnetron sputtering...”
Estudo sobre a formação da solução sólida em filmes finos de zrn+si depositados via magnetron sputtering reativo
Dissertação
2
Assuntos:
“...Magnetron sputtering...”
Deposição e caracterização de filmes finos TaA1N por magnetron sputtering reativo
Dissertação
3
Assuntos:
“...Magnetron sputtering reativo...”
Influência do teor de Hf em filmes finos de Zr e ZrN depositados por magnetron sputtering
Dissertação