Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1997
Autor(a) principal: Fontana, Luis Cesar
Orientador(a): Muzart, Joel Louis Rene
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Florianópolis, SC
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Link de acesso: http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999
Resumo: Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico.
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