Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1999
Autor(a) principal: Góngora Rubio, Mario Ricardo
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Hybrid technology
Tecnologia híbrida
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/
Resumo: A meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor.
id USP_0559d9c5e7cbe8e359da79a2a77da758
oai_identifier_str oai:teses.usp.br:tde-02122024-154421
network_acronym_str USP
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository_id_str
spelling Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.Untitled in englishHybrid technologyTecnologia híbridaA meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor.The goal of this research is to access Micro-System Technology MST the hybrid way, using LTCC Low Temperature Co-fired Ceramics -, Thick Film and Silicon Technologies. A micro-system could be defined as small package capable of handle at least two media e.g. electricity & fluids by means of sensor, actuator, interconnections, control & signal processing electronics. One substantive MST problem being addressed today are fluid handling systems for miniaturized chemical analytical systems. For larger MST 3D applications, in the intermediate size meso-structures with minimum feature size in the range from 10 to several hundred µm, it will be desirable to have a material compatible with hybrid micro-electronics, with suitable thermal, mechanical and electrical properties, easy to fabricate and inexpensive to process. We think such a material is the ceramic green tape system. One of the important features of green tape technology is the possibility of fabricating three dimensional structures using multiple layers of green tapes. In this work we want to emphasize sensors and actuators for meso-systems exploring Green Tape possibilities in the following ways: * Sensors for proximity measurement; * Fluid media realization of vias, holes, cavities, channels and manifolds; * Sensors for flow measurement; * Actuators for hybrid micro-valves. This area is at present in development and with the early results obtained, we think green tape hybrid micro-systems have a promising future.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPRodriguez, Edgar CharryGóngora Rubio, Mario Ricardo 1999-03-12info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2024-12-02T17:49:02Zoai:teses.usp.br:tde-02122024-154421Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212024-12-02T17:49:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
dc.title.none.fl_str_mv Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
Untitled in english
title Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
spellingShingle Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
Góngora Rubio, Mario Ricardo
Hybrid technology
Tecnologia híbrida
title_short Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
title_full Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
title_fullStr Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
title_full_unstemmed Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
title_sort Em direção a uma tecnologia híbrida de meso-sistemas sensores e atuadores com cerâmicas verdes: propostas e realizações.
author Góngora Rubio, Mario Ricardo
author_facet Góngora Rubio, Mario Ricardo
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Rodriguez, Edgar Charry
dc.contributor.author.fl_str_mv Góngora Rubio, Mario Ricardo
dc.subject.por.fl_str_mv Hybrid technology
Tecnologia híbrida
topic Hybrid technology
Tecnologia híbrida
description A meta desta pesquisa é a de acessar a tecnologia MST - Micro System Technology - de forma híbrida. Neste trabalho propõe-se uma tecnologia híbrida usando LTCC - Low Temperature Cofire Ceramic - de cerâmicas verdes a qual associada à tecnologia de filmes espessos e silício, surge como uma alternativa interessante, viável e barata para a fabricação de dispositivos MEMS - Micro Electro-Mechanical Systems - e microsistemas em meso-escala. Os objetivos básicos propostos para serem realizados neste trabalho são os seguintes: - Desenvolvimento de uma tecnologia para meso-sistemas utilizando a tecnologia LTCC usada correntemente em circuitos híbridos multicamada para MCM - Multi Chip Module. - Utilização desta tecnologia, associada às técnicas MEMS tradicionais para a implementação de sensores e atuadores híbridos, com possíveis aplicações na área de micro-fluídica. - Implementação e caracterização dos seguintes sensores e atuadores: - sensor de Proximidade; - Dispositivos fluídicos e sensor de vazão; - Microválvula eletromagnética. Esta área encontra-se em desenvolvimento intenso e os resultados iniciais obtidos mostram que a forma híbrida de realizar meso-sistemas apresenta um futuro promissor.
publishDate 1999
dc.date.none.fl_str_mv 1999-03-12
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/
url https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-02122024-154421/
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv
dc.rights.driver.fl_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.coverage.none.fl_str_mv
dc.publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
dc.source.none.fl_str_mv
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
instname:Universidade de São Paulo (USP)
instacron:USP
instname_str Universidade de São Paulo (USP)
instacron_str USP
institution USP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)
repository.mail.fl_str_mv virginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.br
_version_ 1865491665406394368

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