Desenvolvimento de tecnologias mais limpas aplicadas à microeletrônica.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2002
Autor(a) principal: Gameiro, Janaina
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01102024-160439/
Resumo: O presente trabalho tem como objetivo o desenvolvimento de tecnologias limpas e mais limpas aplicadas à indústria de microeletrônica de São Paulo, bem como a determinação de indicadores ambientais e possíveis ecossistemas industriais, no que concerne a minimização do consumo de água e geração de resíduos, na busca da produção sustentável. Para tanto, utilizou-se o manual para implementação de um programa de prevenção de poluição da CETESB como metodologia. Três empresas da área foram estudadas, partindo-se do sistema tecnológico mais simples para o mais complexo. Caracterizou-se cada indústria em relação aos aspectos ambientais pertinentes ao consumo de água, onde observou-se que a maior quantidade de água deionizada produzida é destinada a banhos de lavagem de lâminas para remoção de reagentes e contaminantes. Resíduos gasosos e sólidos foram também abordados para alcançar a situação de emissão zero. Além disso, o modelo fim de tubo, focado no tratamento e disposição final dos resíduos é amplamente aplicado. A partir daí, iniciou-se o programa de prevenção de poluição. A otimização dos sistemas de lavagem se deu através do desenvolvimento de técnicas de lavagem mais eficientes em relação ao consumo de água, sem alterar a qualidade final dos dispositivos. Alguns desses sistemas foram implantados em duas das empresas abordadas. Para uma das empresas estudadas, um ciclo fechado de água, através de técnicas de reciclagem e reutilização, foi proposto. Os estudos permitiram concluir que os metais, na ordem de 1ppm, são os principais contaminantes de água. Dessa forma, é possível concluir que expressiva parte da água proveniente dos processos da microeletrônica é reciclável ou reutilizável. A reciclagem e reutilização da água advinda da microeletrônica pode se dar internamente através do programa de prevenção de poluição e/ou externamente através do desenvolvimento de ecossistemas industriais, onde a simbiose ) industrial é possível. Estes, por sua vez, tem sua maior expressão na reutilização de água. O principal ecossistema encontrado é formado pelas indústrias de microeletrônica e galvanoplastia. Nota-se que o ecodesign de equipamentos, que inibe o acesso e o levantamento de oportunidades de prevenção de poluição devido ao rigoroso controle de contaminação, e a comunicação ambiental são duas das grandes forças dirigentes para o bom desenvolvimento de programas de prevenção de poluição e ecossistemas industriais. Entretanto, atualmente encontram-se subestimados em todo o sistema. Deste modo, propostas de indicadores e modelos de comunicação ambiental foram apresentados. Os dados resultantes desse projeto permitem concluir que é possível alcançar o desenvolvimento sustentável através de alternativas tecnológicas ambientalmente mais corretas, propiciando grandes vantagens econômicas e ambientais.
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Caracterizou-se cada indústria em relação aos aspectos ambientais pertinentes ao consumo de água, onde observou-se que a maior quantidade de água deionizada produzida é destinada a banhos de lavagem de lâminas para remoção de reagentes e contaminantes. Resíduos gasosos e sólidos foram também abordados para alcançar a situação de emissão zero. Além disso, o modelo fim de tubo, focado no tratamento e disposição final dos resíduos é amplamente aplicado. A partir daí, iniciou-se o programa de prevenção de poluição. A otimização dos sistemas de lavagem se deu através do desenvolvimento de técnicas de lavagem mais eficientes em relação ao consumo de água, sem alterar a qualidade final dos dispositivos. Alguns desses sistemas foram implantados em duas das empresas abordadas. Para uma das empresas estudadas, um ciclo fechado de água, através de técnicas de reciclagem e reutilização, foi proposto. Os estudos permitiram concluir que os metais, na ordem de 1ppm, são os principais contaminantes de água. Dessa forma, é possível concluir que expressiva parte da água proveniente dos processos da microeletrônica é reciclável ou reutilizável. A reciclagem e reutilização da água advinda da microeletrônica pode se dar internamente através do programa de prevenção de poluição e/ou externamente através do desenvolvimento de ecossistemas industriais, onde a simbiose ) industrial é possível. Estes, por sua vez, tem sua maior expressão na reutilização de água. O principal ecossistema encontrado é formado pelas indústrias de microeletrônica e galvanoplastia. Nota-se que o ecodesign de equipamentos, que inibe o acesso e o levantamento de oportunidades de prevenção de poluição devido ao rigoroso controle de contaminação, e a comunicação ambiental são duas das grandes forças dirigentes para o bom desenvolvimento de programas de prevenção de poluição e ecossistemas industriais. Entretanto, atualmente encontram-se subestimados em todo o sistema. Deste modo, propostas de indicadores e modelos de comunicação ambiental foram apresentados. Os dados resultantes desse projeto permitem concluir que é possível alcançar o desenvolvimento sustentável através de alternativas tecnológicas ambientalmente mais corretas, propiciando grandes vantagens econômicas e ambientais.The objective of this project is to develop cleaner technologies as well as determine environmental indicators and industrial ecosystems, concerning water consumption and waste minimization, in the microelectronics industry in São Paulo, in order to reach sustainable production. Therefore, a CETESB pollution prevention program manual was used as the main methodology. Indeed, three microelectronics industries were studied, starting from the simplest to the most complex system. Each industry was initially characterized concerning environmental aspects, related to water consumption. It was possible to noticed that most of the ultra pure water produced is used as rinse water to remove reactants and contamination from silicon wafers. Gaseous and solid residues were also studied in order to reach z-emission. Besides that, this sector gives emphasis on the use of the end-of-pipe model, instead of Clean Production principles. After the characterization step, the development of the pollution prevention program was initiated. The development of more efficient rinse techniques without interfering in the device final quality enabled the optimization of rinse systems. Some of these systems were implemented in two of the companies studied. Also, it was possible to create a closed water cycle through recycling and reuse alternatives for one the plants. Water analyses showed that metals, around 1 ppm, are the main water contaminants. Thus, it is possible to conclude that significant amount of the water used in the microelectronics industry is recyclable or reusable. Recycling and reuse of the microelectronics water can be promoted internally through pollution prevention programs and/or externally through the development of industrial ecosystems, in which industrial symbiosis is possible. Industrial ecosystems are supplied with water through water reuse techniques. The most important ecosystem provided by this study is the one between the microelectronics and galvanic industries. Equipment \"ecodesign\", which inhibit pollution prevention alternatives due to strict contamination control, and company environmental reporting are the two main driving forces for the effective development of pollution prevention programs and industrial ecosystems. However, such important environmental instruments are not widely considered nowadays. Thus, indicators suggestions and company environmental reporting models were proposed. The results suggested that it is perfectly possible to reach sustainable development making use of environmental friendly technological alternatives, promoting relevant economical and environmental advantages.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPSilva, Maria Lucia Pereira daGameiro, Janaina 2002-08-16info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-01102024-160439/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2024-10-01T19:09:02Zoai:teses.usp.br:tde-01102024-160439Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212024-10-01T19:09:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
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