Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1990
Autor(a) principal: Onmori, Roberto Koji
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Dissertação
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Carbide Films
Filmes de carbeto
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/
Resumo: O presente trabalho visa a obtenção de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h) com um reator de Desarga Luminosa (DL) do laboratório de microeletrônica da Universidade de São Paulo (lME-USP). Uma sequência de caracterizações ópticas, elétricas e composicionais foi realizada para acompanhar a evolução da incorporação de carbono nos filmes na fase sólida em função da pressão parcial de metano e da densidade de pot~encia do RF. A efeiciência da incorporação do carbono foi estudada a partir da espectroscopia de eletrons AUGER. Com a espectroscopia de infravermelho, foram analisadas os tipos de ligações possíveis do carbono com hidrogênio e silício. A estabilidade das ligações foi verificada submetendo-se as amostras a tratamentos térmicos. A possibilidade de desenvolvimento de filmes de a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h com alta resistividade, baixa densidade de estados e transparências elevadas permitiu o uso do material estudado em alguns dispositivos fotovoltáicos e eletrônicos.
id USP_d024a855bce683278de2894983f5072d
oai_identifier_str oai:teses.usp.br:tde-05022025-112504
network_acronym_str USP
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository_id_str
spelling Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).Untitled in englishCarbide FilmsFilmes de carbetoO presente trabalho visa a obtenção de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h) com um reator de Desarga Luminosa (DL) do laboratório de microeletrônica da Universidade de São Paulo (lME-USP). Uma sequência de caracterizações ópticas, elétricas e composicionais foi realizada para acompanhar a evolução da incorporação de carbono nos filmes na fase sólida em função da pressão parcial de metano e da densidade de pot~encia do RF. A efeiciência da incorporação do carbono foi estudada a partir da espectroscopia de eletrons AUGER. Com a espectroscopia de infravermelho, foram analisadas os tipos de ligações possíveis do carbono com hidrogênio e silício. A estabilidade das ligações foi verificada submetendo-se as amostras a tratamentos térmicos. A possibilidade de desenvolvimento de filmes de a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h com alta resistividade, baixa densidade de estados e transparências elevadas permitiu o uso do material estudado em alguns dispositivos fotovoltáicos e eletrônicos.The aim of this work is to make amorphous hydrogenated silicone carbide (a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':H) within a Glow Discharge reactor at Laboratório de Microeletrônica da Universidade de São Paulo (LME-USP). Optical, electrical and structural measurements were made to study the carbon incorporation in solid-phase as a function of the methane partial pressure and the RF power dendity. AUGER electron spectroscopy permited the investigation of carbon incorporation. Infrared spectroscopy allowed us to analyze the possible carbon hydrogen and carbon-silicon bonds. The stability of such bonds was verified with annealing. The possibility of developing high resistivity, low density of states and highe transparente (a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':H) films has been demonstrated and allowed the application in photovoltaic and electronic devices.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPPereyra, InêsOnmori, Roberto Koji1990-08-24info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2025-02-05T13:30:02Zoai:teses.usp.br:tde-05022025-112504Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212025-02-05T13:30:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
dc.title.none.fl_str_mv Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
Untitled in english
title Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
spellingShingle Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
Onmori, Roberto Koji
Carbide Films
Filmes de carbeto
title_short Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
title_full Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
title_fullStr Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
title_full_unstemmed Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
title_sort Influência do conteúdo de carbono nos materiais de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'IND.1-X SI\'\'IND.X C\'h).
author Onmori, Roberto Koji
author_facet Onmori, Roberto Koji
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Pereyra, Inês
dc.contributor.author.fl_str_mv Onmori, Roberto Koji
dc.subject.por.fl_str_mv Carbide Films
Filmes de carbeto
topic Carbide Films
Filmes de carbeto
description O presente trabalho visa a obtenção de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h) com um reator de Desarga Luminosa (DL) do laboratório de microeletrônica da Universidade de São Paulo (lME-USP). Uma sequência de caracterizações ópticas, elétricas e composicionais foi realizada para acompanhar a evolução da incorporação de carbono nos filmes na fase sólida em função da pressão parcial de metano e da densidade de pot~encia do RF. A efeiciência da incorporação do carbono foi estudada a partir da espectroscopia de eletrons AUGER. Com a espectroscopia de infravermelho, foram analisadas os tipos de ligações possíveis do carbono com hidrogênio e silício. A estabilidade das ligações foi verificada submetendo-se as amostras a tratamentos térmicos. A possibilidade de desenvolvimento de filmes de a-\'SI IND.1-X\'\'C IND.X\':h com alta resistividade, baixa densidade de estados e transparências elevadas permitiu o uso do material estudado em alguns dispositivos fotovoltáicos e eletrônicos.
publishDate 1990
dc.date.none.fl_str_mv 1990-08-24
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/
url https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-05022025-112504/
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv
dc.rights.driver.fl_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.coverage.none.fl_str_mv
dc.publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
dc.source.none.fl_str_mv
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
instname:Universidade de São Paulo (USP)
instacron:USP
instname_str Universidade de São Paulo (USP)
instacron_str USP
institution USP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)
repository.mail.fl_str_mv virginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.br
_version_ 1839839139368796160

Registros relacionados