Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 1996
Autor(a) principal: Santos, Jarbas Tavares dos
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Iron silicetes
Microscopia eletrônica de transmissão (Aplicações)
Silicetos de ferro
Transmission electron microscopy (Applications)
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18112024-155849/
Resumo: Apresentamos neste trabalho a caracterização por MET de materiais empregados na microeletrônica, visando cobrir a carência da análise por MET desses materiais no Brasil. A caracterização foi executada em laminas de \'SI\', a qual foram incorporadas camadas de silicetos enterradas ou superficiais através de várias técnicas de silicetos enterradas ou superficiais, através, de várias técnicas de crescimento. As camadas enterradas no substrato de \'SI\' foram obtidas através da síntese por feixe iônico; e as superfícies por epitaxia de fase sólida e pela silicetação por pares de difusão \'FE\'-\'TI\'-\'SI\'. Para a análise por MET desenvolvemos os métodos de preparação de espécime planar e o de preparação de espécime transversal, para os quais são utilizados equipamentos específicos. Basicamente, as imagens de alta resolução e a difração eletrônica da MET foram responsáveis pela maioria dos resultados obtidos. Sua utilização mostrou a importância desta técnica na determinação das relações de orientação epitaxial entre o substrato e as camadas crescidas. Adicionalmente, com a MET pode-se visualizar a formação de precipitados no substrato e de defeitos nos grãos de siliceto formado.
id USP_60b8a3d83ba3da03997687e74b7e7b3c
oai_identifier_str oai:teses.usp.br:tde-18112024-155849
network_acronym_str USP
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository_id_str
spelling Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.Untitled in englishIron silicetesMicroscopia eletrônica de transmissão (Aplicações)Silicetos de ferroTransmission electron microscopy (Applications)Apresentamos neste trabalho a caracterização por MET de materiais empregados na microeletrônica, visando cobrir a carência da análise por MET desses materiais no Brasil. A caracterização foi executada em laminas de \'SI\', a qual foram incorporadas camadas de silicetos enterradas ou superficiais através de várias técnicas de silicetos enterradas ou superficiais, através, de várias técnicas de crescimento. As camadas enterradas no substrato de \'SI\' foram obtidas através da síntese por feixe iônico; e as superfícies por epitaxia de fase sólida e pela silicetação por pares de difusão \'FE\'-\'TI\'-\'SI\'. Para a análise por MET desenvolvemos os métodos de preparação de espécime planar e o de preparação de espécime transversal, para os quais são utilizados equipamentos específicos. Basicamente, as imagens de alta resolução e a difração eletrônica da MET foram responsáveis pela maioria dos resultados obtidos. Sua utilização mostrou a importância desta técnica na determinação das relações de orientação epitaxial entre o substrato e as camadas crescidas. Adicionalmente, com a MET pode-se visualizar a formação de precipitados no substrato e de defeitos nos grãos de siliceto formado.In this work a systematic study of cristallography of buried iron silicides layers formed by íon beam synthesis (IBS) in (001) and (111) silicon has been performed. Particularly, the evolution of the growth of the epitaxial silicide as a function of anneal time and temperature was investigated. Also the possibility to form ternary-cobalt silicides and nickel-iron silicides by IBS has been investigated. The formation of buried ternary silicides was investigated as a function of the implantation and anneal conditions. The structure of these ternary silicides was determined by HREM and compared with XRD and RBS data. For comparison with the results on buried iron silicides surface epitaxial iron silicides prepared by annealing of Fe/Ti Double layers on (100) and (111) silicon, were also investigated by HREM. The emphasis of the work was lie on the characterization by means of transmission electron microscopy (TEM). High resolution electron microscopy (HREM) and electron diffraction have been considered. Both plan view and cross-sectional investigations have been performed in order to fully characterize the material.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPMonteiro, Waldemar AlfredoSantos, Jarbas Tavares dos1996-03-19info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18112024-155849/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2024-11-18T18:03:02Zoai:teses.usp.br:tde-18112024-155849Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212024-11-18T18:03:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
dc.title.none.fl_str_mv Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
Untitled in english
title Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
spellingShingle Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
Santos, Jarbas Tavares dos
Iron silicetes
Microscopia eletrônica de transmissão (Aplicações)
Silicetos de ferro
Transmission electron microscopy (Applications)
title_short Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
title_full Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
title_fullStr Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
title_full_unstemmed Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
title_sort Caracterização por microscopia eletrônica de transmissão de camadas de silicetos de ferro superficiais e enterradas formadas por técnicas de crescimento epitaxial.
author Santos, Jarbas Tavares dos
author_facet Santos, Jarbas Tavares dos
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Monteiro, Waldemar Alfredo
dc.contributor.author.fl_str_mv Santos, Jarbas Tavares dos
dc.subject.por.fl_str_mv Iron silicetes
Microscopia eletrônica de transmissão (Aplicações)
Silicetos de ferro
Transmission electron microscopy (Applications)
topic Iron silicetes
Microscopia eletrônica de transmissão (Aplicações)
Silicetos de ferro
Transmission electron microscopy (Applications)
description Apresentamos neste trabalho a caracterização por MET de materiais empregados na microeletrônica, visando cobrir a carência da análise por MET desses materiais no Brasil. A caracterização foi executada em laminas de \'SI\', a qual foram incorporadas camadas de silicetos enterradas ou superficiais através de várias técnicas de silicetos enterradas ou superficiais, através, de várias técnicas de crescimento. As camadas enterradas no substrato de \'SI\' foram obtidas através da síntese por feixe iônico; e as superfícies por epitaxia de fase sólida e pela silicetação por pares de difusão \'FE\'-\'TI\'-\'SI\'. Para a análise por MET desenvolvemos os métodos de preparação de espécime planar e o de preparação de espécime transversal, para os quais são utilizados equipamentos específicos. Basicamente, as imagens de alta resolução e a difração eletrônica da MET foram responsáveis pela maioria dos resultados obtidos. Sua utilização mostrou a importância desta técnica na determinação das relações de orientação epitaxial entre o substrato e as camadas crescidas. Adicionalmente, com a MET pode-se visualizar a formação de precipitados no substrato e de defeitos nos grãos de siliceto formado.
publishDate 1996
dc.date.none.fl_str_mv 1996-03-19
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18112024-155849/
url https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-18112024-155849/
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv
dc.rights.driver.fl_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Liberar o conteúdo para acesso público.
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.coverage.none.fl_str_mv
dc.publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
publisher.none.fl_str_mv Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
dc.source.none.fl_str_mv
reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
instname:Universidade de São Paulo (USP)
instacron:USP
instname_str Universidade de São Paulo (USP)
instacron_str USP
institution USP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)
repository.mail.fl_str_mv virginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.br
_version_ 1865491680469188608

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