Estudo da influência dos parâmetros de recozimento térmico rápido na morfologia dos filmes de Ti\'Si IND.2\' formados e sua correlação com a tensão mecânica.

• Ano de defesa: 1997
• Autor(a) principal: Souza, Silvana Gasparotto de
• Tipo de documento: Dissertação
• Tipo de acesso: Acesso aberto
• Idioma: por
• Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
• Palavras-chave em Português: Mechanical stress; Morfologia; Morphology; Siliceto de titânio; Tensão mecânica; Titanium silicide
• Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-08102024-142101/

Nós estudamos neste trabalho a formação de siliceto de titânio a partir de filmes de titânio evaporados sobre Si (100). Empregamos diversas receitas de recozimento térmico rápido e analisamos sua influência na morfologia e na tensão mecânica dos filmes de \'TiSi IND.2\' formados. De forma geral, observamos tipos de morfologia superficial bastante distintas dependendo da taxa de aquecimento inicial em baixa temperatura das receitas de recozimento empregadas. Como reaultado, propusemos duas receitas de recozimento: a primeira receita de recozimento consisitiu em uma rampa lenta de aquecimento (\'til\' 1 grau Celsius/s) até uma temperatura de aproximadamente \'700 GRAUS\' C seguida por uma rampa rápida de aquecimento (\'til\'60 grausCelsius/s) até 850 graus Celsius e um patamar isotérmico em 850 graus Celsius com duraçào na faixa de 5 a 60s. A segunda receita de recozimento consistiu de uma rampa rápida de aquecimento(\'til\'60 graus Celsius) até uma temperatura de 850 grausCelsius seguida de um patamar isotérmico em 850 graus Celsius e duração na faixa de 5 a 60s. Observamos que quando a primeira receita é empregada, ocorre um pronunciado efeito de \"molhamento\" (um filme descontínuo com uma densidade de buracos emtorno de 4 buracos/\'mü\'\'m POT.2\').Por outro lado, quando a segunda receita é utilizada, notamos a formação predominante de ilhas isoladas (grãos grandes). O efeito de \"molhamento\" foi atribuído a rampa lenta de aquecimento inicial do perfil temporal de temperatura, e a formação de ilhas isoladas foi atribuída à rampa rápida de aquecimento do perfil temporal de temperatura.