Estudo do comportamento de transistores de efeito de campo de alta mobilidade de elétrons (MISHEMT) operando em diferentes temperaturas.

Detalhes bibliográficos
Ano de defesa: 2025
Autor(a) principal: Perina, Welder Fernandes
Orientador(a): Não Informado pela instituição
Banca de defesa: Não Informado pela instituição
Tipo de documento: Tese
Tipo de acesso: Acesso aberto
Idioma: por
Instituição de defesa: Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USP
Programa de Pós-Graduação: Não Informado pela instituição
Departamento: Não Informado pela instituição
País: Não Informado pela instituição
Palavras-chave em Português:
Link de acesso: https://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052025-112523/
Resumo: Neste trabalho foi analisado o comportamento dos Transistores de Alta Mobilidade de Elétrons de Metal-Isolante-Semicondutor (MISHEMTs), por meio de análise dos parâmetros elétricos extraídos experimentalmente, e simulações, operando em temperaturas de 200 K até 450 K, variando o comprimento de porta de 200 nm até 900 nm. Seu funcionamento é baseado na criação de uma região chamada de gás de elétrons bidimensional (2DEG), que possui alta densidade de elétrons com elevada mobilidade e é causada pela junção de 2 materiais com bandas proibidas diferentes. Porém, além da condução de corrente por esta região, na porta do transistor há uma estrutura MOS que contribui com a condução total de corrente do dispositivo. A análise dos dados experimentais via, parâmetros elétricos dos dispositivos, mostrou a contribuição de dois mecanismos de condução diferentes: um chamado de condução MOS (Metal-Óxido-Isolante) e outra de condução HEMT (Transistor de Alta Mobilidade de Elétrons) ou 2DEG. A participação de dois mecanismos de condução diferentes nos dispositivos torna-se mais evidente através das variações na tensão de limiar (VTH) e na transcondutância (gm), que afetam o dispositivo significativamente, principalmente a partir da temperatura de 350 K. Ao analisar a influência da alta tensão de dreno (VDS) no dispositivo, foi observada grande influência na inclinação de sublimiar e na razão ION/IOFF aparentando uma melhora nos parâmetros em que o oposto que é esperado, e esse comportamento é explicado pelas relações de correntes dos terminais do dispositivo. Apesar disso foram apresentados valores de DIBL entre 25 mV/V e 65 mV/V. Em seguida foram realizadas simulações a fim de estudar melhor o efeito rebote observado no VTH do dispositivo onde se observou que as armadilhas de interface são a principal responsável. Segundo a literatura, estes tipos de dispositivos são projetados para operarem em aplicações analógicas, portanto, o estudo de alguns parâmetros analógicos como frequência de ganho unitário (ft) e ganho intrínseco de tensão (AV) também foram realizados. A gm em saturação em 200 K apresentou uma variação de apenas 16% ao dobrar o comprimento de canal (400 nm até 800 nm) mostrando baixa dependência com o comprimento de porta do dispositivo. As múltiplas conduções do MISHEMT causam um efeito na curva de saída do dispositivo chamado de MH Kink neste trabalho, que torna possível observar a influência da tensão de porta nas múltiplas conduções presentes no dispositivo de estudo. Quanto à influência da temperatura em parâmetros analógicos, a ft aumenta de 800 MHz (450 K) até 1,8 GHz (200 K) enquanto que o AV se comporta de maneira oposta indo de 43 dB (450 K) até 38 dB (200 K). Por fim, é feita a comparação do comportamento de parâmetros analógicos de um MISHEMT com um MOSFET fabricado em estrutura de GaN. Neste estudo notou-se que o MOSFET apresenta uma corrente elétrica cerca de 4 vezes menor que do MISHEMT, e uma faixa de operação de tensão entre 0 V a 2 V, enquanto que no MISHEMT essa faixa é entre -6 V a 0 V. No entanto, o MOSFET estudado apresentou um comportamento de histerese (inicialmente de 0,25 V) que acaba deslocando o VTH após cada medida feita em sequência até chegar em um certo limite, porém o efeito de histerese diminui também a cada medida sequencial.
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A análise dos dados experimentais via, parâmetros elétricos dos dispositivos, mostrou a contribuição de dois mecanismos de condução diferentes: um chamado de condução MOS (Metal-Óxido-Isolante) e outra de condução HEMT (Transistor de Alta Mobilidade de Elétrons) ou 2DEG. A participação de dois mecanismos de condução diferentes nos dispositivos torna-se mais evidente através das variações na tensão de limiar (VTH) e na transcondutância (gm), que afetam o dispositivo significativamente, principalmente a partir da temperatura de 350 K. Ao analisar a influência da alta tensão de dreno (VDS) no dispositivo, foi observada grande influência na inclinação de sublimiar e na razão ION/IOFF aparentando uma melhora nos parâmetros em que o oposto que é esperado, e esse comportamento é explicado pelas relações de correntes dos terminais do dispositivo. Apesar disso foram apresentados valores de DIBL entre 25 mV/V e 65 mV/V. Em seguida foram realizadas simulações a fim de estudar melhor o efeito rebote observado no VTH do dispositivo onde se observou que as armadilhas de interface são a principal responsável. Segundo a literatura, estes tipos de dispositivos são projetados para operarem em aplicações analógicas, portanto, o estudo de alguns parâmetros analógicos como frequência de ganho unitário (ft) e ganho intrínseco de tensão (AV) também foram realizados. A gm em saturação em 200 K apresentou uma variação de apenas 16% ao dobrar o comprimento de canal (400 nm até 800 nm) mostrando baixa dependência com o comprimento de porta do dispositivo. As múltiplas conduções do MISHEMT causam um efeito na curva de saída do dispositivo chamado de MH Kink neste trabalho, que torna possível observar a influência da tensão de porta nas múltiplas conduções presentes no dispositivo de estudo. Quanto à influência da temperatura em parâmetros analógicos, a ft aumenta de 800 MHz (450 K) até 1,8 GHz (200 K) enquanto que o AV se comporta de maneira oposta indo de 43 dB (450 K) até 38 dB (200 K). Por fim, é feita a comparação do comportamento de parâmetros analógicos de um MISHEMT com um MOSFET fabricado em estrutura de GaN. Neste estudo notou-se que o MOSFET apresenta uma corrente elétrica cerca de 4 vezes menor que do MISHEMT, e uma faixa de operação de tensão entre 0 V a 2 V, enquanto que no MISHEMT essa faixa é entre -6 V a 0 V. No entanto, o MOSFET estudado apresentou um comportamento de histerese (inicialmente de 0,25 V) que acaba deslocando o VTH após cada medida feita em sequência até chegar em um certo limite, porém o efeito de histerese diminui também a cada medida sequencial.In this work, the behavior of Metal-Insulator-Semiconductor High Electron Mobility Transistors (MISHEMTs) was analyzed through the examination of experimentally extracted electrical parameters and simulations, operating at temperatures ranging from 200 K to 450 K, with gate lengths varying from 200 nm to 900 nm. Its operation is based on the formation of a region called the two-dimensional electron gas (2DEG), which has a high electron density and elevated mobility, caused by the junction of two materials with different bandgaps. However, in addition to current conduction through this region, the transistors gate contains a MOS structure that contributes to the total current conduction of the device. The analysis of experimental data via the electrical parameters of the devices showed the contribution of two different conduction mechanisms: one called MOS conduction (Metal-Oxide-Semiconductor) and the other HEMT (High Electron Mobility Transistor) or 2DEG conduction. The involvement of two different conduction mechanisms in the devices becomes more evident through variations in the threshold voltage (VTH) and transconductance (gm), which significantly affect the device, especially at temperatures above 350 K. Upon analyzing the influence of high drain voltage (VDS) on the device, a strong influence on the subthreshold slope and the ION/IOFF ratio was observed, showing an improvement in the parameters, which is contrary to what is expected, and this behavior is explained by the current behaviors of the device terminals. Despite this, DIBL values between 25 mV/V and 65 mV/V were presented. Simulations were then performed to better study the rebound effect observed in the devices VTH, where it was noted that interface traps are the main cause. According to the literature, these types of devices are designed to operate in analog applications; therefore, the study of some analog parameters such as unity gain frequency (ft) and intrinsic voltage gain (AV) was also conducted. The gm in saturation at 200 K showed a variation of only 16% when the channel length was doubled (from 400 nm to 800 nm), indicating low dependence on the gate length of the device. The multiple conductions in the MISHEMT cause an effect on the output curve of the device, called the MH Kink in this work, which makes it possible to observe the influence of the gate voltage on the multiple conductions present in the device under study. As for the influence of temperature on analog parameters, ft increased from 800 MHz (450 K) to 1.8 GHz (200 K), while AV behaved oppositely, going from 43 dB (450 K) to 38 dB (200 K). Finally, a comparison of the analog parameter behavior between a MISHEMT and a MOSFET fabricated in a GaN structure was made. In this study, it was observed that the MOSFET presents an electric current about 4 times smaller than the MISHEMT, with an operating voltage range from 0 V to 2 V, while the MISHEMT operates in a range from -6 V to 0 V. However, the studied MOSFET exhibited hysteresis behavior (initially 0.25 V), which shifts the VTH after each sequential measurement until a certain limit is reached, but the hysteresis effect also decreases with each sequential measurement.Biblioteca Digitais de Teses e Dissertações da USPAgopian, Paula Ghedini DerMartino, João AntonioPerina, Welder Fernandes2025-02-25info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttps://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-27052025-112523/reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USPinstname:Universidade de São Paulo (USP)instacron:USPLiberar o conteúdo para acesso público.info:eu-repo/semantics/openAccesspor2025-05-27T17:44:02Zoai:teses.usp.br:tde-27052025-112523Biblioteca Digital de Teses e Dissertaçõeshttp://www.teses.usp.br/PUBhttp://www.teses.usp.br/cgi-bin/mtd2br.plvirginia@if.usp.br|| atendimento@aguia.usp.br||virginia@if.usp.bropendoar:27212025-05-27T17:44:02Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP - Universidade de São Paulo (USP)false
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